НАУЧНЫЙ СЕМИНАР ИНСТИТУТА СПЕКТРОСКОПИИ РАН. 27 апреля, В.Медведев "Деформация и фрагментация жидко-металлических капель под воздействием мощных лазерных импульсов"
НАУЧНЫЙ СЕМИНАР ИНСТИТУТА СПЕКТРОСКОПИИ РАН
Деформация и фрагментация жидко-металлических капель под воздействием
мощных лазерных импульсов
М. Кривокорытов, А. Виноходов, Ю. Сидельников,
В. Медведев, В. Кривцун, В. Компанец, К. Кошелев
Институт спектроскопии РАН, Троицк, Москва, Россия
Доклад состоится 27 апреля 2017 г. в 11:00 в конференц-зале Института
спектроскопии РАН (ИСАН) по адресу: 142190 г. Москва, г.Троицк
ул. Физическая, 5, Институт спектроскопии РАН.
Аннотация
Лазерная плазма используется в качестве источника излучения для технологии литографии на
длине волны 13.5 нм, так называемой литографии в экстремальном ультрафиолете (ЭУФ). В
таких источниках мишенями для создания лазерной плазмы служат оловянные капли диаметром
в несколько десятков микрометров. Такие капельные мишени подвергаются воздействию двух
последовательных лазерных импульсов. Первый импульс (пред-импульс) служит для
оптимизации формы мишени. Второй импульс (основной импульс) служит для генерации
высокотемпературной плазмы, излучающей в ЭУФ диапазоне, посредством абляции
деформированной мишени. Данный доклад посвящен вопросам “приготовления” мишени при
помощи пред-импульса. В докладе будут рассмотрены физические аспекты деформации и
фрагментации жидко-металлических капель под воздействием лазерных импульсов разной
длительности, от десятков фемтосекунд до десятков наносекунд.
| Время начала: | 27.04.2017 (Четверг), 11:00 |
| Место проведения: | Конференц-зал ИСАН (3 этаж административного корпуса) (142190 г. Москва, г. Троицк ул. Физическая, 5, Институт спектроскопии РАН ) |
| Телефон для справок: | +749585102-21 |
Проход на территорию ИСАН по предварительной записи по
е-mail: isan@isan.troitsk.ru или по тел. (495)851-02-21